1. 一種自動硅片勻膠機的制作方法

      文檔序號:10346994
      一種自動硅片勻膠機的制作方法
      【技術領域】
      [0001]本實用新型涉及一種硅片塗膠設備,特別涉及一種自動硅片勻膠機。
      【背景技術】
      [0002]硅片的塗膠處理,是將硅片的表面塗上一層薄厚均勻的膠,目前,工藝流程是手動放置片籃到上料待料位、硅片搬運至上料位置、移片機構取硅片、塗膠機構塗膠、烘幹機構烘幹、硅片搬運至下料位片籃中,片籃裝滿後手動下料,費工費時,效率低、勞動強度大。

      【發明內容】

      [0003]鑒于現有技術存在的問題,本實用新型提供一種自動硅片塗膠機整機,主要功能是將硅片自動上料、塗膠、烘幹並自動下料到片籃內,具體技術方案是,一種自動硅片勻膠機,包括機櫃、上料機構、塗膠機構、烘幹機構、移片機構、下料機構和片籃、其特征在于:上料機構、下料機構分別固定于機櫃的工作台長向兩端並同一條中心線上,在工作台的同一條中心線上並上料機構和下料機構間,依次固定塗膠機構、烘幹機構,移片機構固定工作台的下面,移片機構的載片位于塗膠機構、烘幹機構的上方,所述的上料機構,包括托舉氣缸、運送帶、升降架、上料座、絲杠螺母、滑塊,托舉氣缸固定在機櫃工作台上,運送帶通過墊塊固定在機櫃工作台上,上料座通過側板與固定,升降架固定在滑塊上,滑塊連接在導軌上,導軌固定在上料座內,絲杠螺母中的絲杠固定在上料座內、螺母固定在升降架內;所述的塗膠機構,包括膠管、點膠機、真空吸盤、調速電機、升降氣缸、主軸套管、升降板、導軌和滑塊,導軌固定在自動硅片勻膠機下側機板上,升降氣缸通過滑塊固定于導軌上並頂住升降板控制升降板上下運動,升降板通過主軸套管與真空吸盤連接,控制真空吸盤的上下運動,調速電機與真空吸盤主軸相連,控制真空吸盤的轉速,真空吸盤置于自動硅片勻膠機的工作台的點膠工位上,膠管固定于點膠機上,點膠機固定于自動硅片勻膠機的工作台上,使膠管正對准真空吸盤中心點;所述的烘幹機構,由筋板、支撐螺釘、支撐架、烘幹托盤、加熱棒、鋼絲支架、隔熱托盤、升降塊、氣缸組成,筋板固定在機櫃工作台下端面,隔熱托盤固定在機櫃工作台上,烘幹托盤通過支撐螺釘支撐在隔熱托盤上,支撐架固定在隔熱托盤下方,氣缸固定在支撐架下方,升降塊通過浮動接頭連接在氣缸杆上來完成上下運動,鋼絲支架固定在升降塊上,加熱棒放在烘幹托盤的圓孔內;所述的下料機構的機械結構與上料機構相同,運動方向與上料機構(2)運動方向相反;所述的移片機構,包括三位置氣缸、直線軸承、光軸、載板、聯動塊,其中,硅片置于載板上,三位置氣缸固定在機櫃工作台下方,聯動塊穿在機櫃工作台中,聯動塊的下端與氣缸活塞杆連接,上端與載板連接,使載板位于機櫃工作台上的塗膠機構、烘幹機構上方,直線軸承固定在機櫃工作台上,光軸穿入直線軸承且光軸兩端分別固定在兩個導軌固定塊上,導軌固定塊固定在載板上,使聯動塊帶動載板做直線往返運動。
      [0004]本實用新型的技術效果是實現了自動上下料、塗膠、烘幹等工藝流程,自動化高、精度高,塗膠均勻,厚度可控,減少了員工的勞動量,同時也避免了對硅片的表面劃傷。
      【附圖說明】
      [0005]圖1是本實用新型的結構立體圖。
      [0006]圖2是本實用新型的俯視圖。
      [0007]圖3是本實用新型的上料機構結構示意圖。
      [0008]圖4是本實用新型的塗膠機構結構示意圖。
      [0009]圖5是本實用新型的烘幹機構結構示意圖。
      [0010]圖6是本實用新型的移片機構結構示意圖。
      【具體實施方式】
      [0011 ]如圖1、2所示,包括機櫃1、上料機構2、塗膠機構3、烘幹機構4、移片機構5、下料機構6、片籃7和電氣控系統,其特征在于:上料機構2、下料機構6分別固定于機櫃I的工作台長向兩端並同一條中心線上,在工作台的同一條中心線上並上料機構2和下料機構6間,依次固定塗膠機構3、烘幹機構4,移片機構5固定工作台的下面,移片機構5的載片28位于塗膠機構3、烘幹機構4的上方,主要功能是將硅片自動上料、塗膠、烘幹並自動下料到片籃內。片籃放置于上、下料機構中的自動升降機構上,可通過導軌絲杠傳動實現升降,從而使片籃中的插槽依次下降或上升。移片機構將硅片搬運至各個工位,塗膠機構將硅片的表面進行塗膠,烘幹機構將硅片表面的膠進行烘幹。
      [0012]所述的上料機構2,包括托舉氣缸20、運送帶21、升降架22、上料座23、絲杠螺母24、滑塊25,托舉氣缸20固定在機櫃I工作台上,運送帶21通過墊塊固定在機櫃I工作台上,上料座23通過側板26與機櫃I工作台固定,升降架22固定在滑塊25)上,滑塊25連接在導軌上,導軌固定在上料座23內,絲杠螺母24中的絲杠固定在上料座23內、螺母固定在升降架22內。人工將片籃放在升降架22內,升降座23通過絲杠螺母24來實現上升和下降,使片籃能夠依次下降到指定位置。片藍達到指定位置後,固定在上料運送帶21內的電機開始旋轉,通過運送帶21傳動,將片藍內部的硅片運送到上料待料位,托舉氣缸20升起,將硅片托起。
      [0013]移片機構5,包括三位置氣缸25、直線軸承26、光軸27、載板28、聯動塊29,其中,硅片置于載板28上,三位置氣缸25固定在機櫃I工作台下方,聯動塊29穿在機櫃I工作台中,聯動塊29的下端與氣缸活塞杆連接,上端與載板28連接,使載板28位于機櫃I工作台上的塗膠機構3、烘幹機構4上方,直線軸承26固定在機櫃I工作台上,光軸27穿入直線軸承26且光軸兩端分別固定在兩個導軌固定塊上,導軌固定塊固定在載板28上,使聯動塊29帶動載板28做直線往返運動。當托舉氣缸20升起,硅片被托起時,移片機構5運動到上料位,然後氣缸20下降,使硅片落在移片機構5上。移片機構5繼續運動到塗膠機構3位。
      [0014]塗膠機構3,包括膠管1、點膠機2、真空吸盤3、調速電機4、升降氣缸5、主軸套管6、升降板7、導軌8和滑塊9,導軌8固定在自動硅片勻膠機下側機板上,升降氣缸5通過滑塊9固定于導軌8上並頂住升降板7控制升降板7上下運動,升降板7通過主軸套管6與真空吸盤3連接,控制真空吸盤3的上下運動,調速電機4與真空吸盤3主軸相連,控制真空吸盤3的轉速,真空吸盤3置于自動硅片勻膠機的工作台的點膠工位上,膠管I固定于點膠機2上,點膠機2固定于自動硅片勻膠機的工作台上,使膠管I正對准真空吸盤3中心點。當移片機構5帶動硅片運動到塗膠機構3位,塗膠機構3
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