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                    一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝的制作方法

                    文檔序號:18709800發布日期:2019-09-18 00:33

                    本發明涉及一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝。



                    背景技術:

                    通常而言,陶瓷介質表面的金屬化工藝有化學沉積後鍍Ag、絲網印刷、整體浸漬Ag等。對于高可靠,高Q的微波器件,通常采用整體浸Ag的金屬化工藝。但整體浸Ag對于器件內壁結構如:狹縫、盲孔、小孔、階梯孔等效果不佳,難以實現內壁結構表面Ag漿的均勻塗覆。



                    技術實現要素:

                    本發明所要解決的技術問題是:提供一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,該孔槽內壁金屬化工藝能夠讓漿料均勻塗覆。

                    爲了解決上述技術問題,本發明采用的技術方案爲:一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,包括如下步驟,

                    S1、利用噴頭向孔槽內壁噴灑金屬化用漿料;

                    S2、利用抽吹氣裝置對經過步驟S1的孔槽進行抽氣和吹氣。

                    本發明的有益效果在于:抽吹氣裝置的抽氣和吹氣動作能夠讓孔槽內壁表面的氣流往複運動,從而消除局部區域金屬化用漿料過度飽和的情況,使孔槽內壁金屬化漿料流平,達到均勻塗覆的目的,進而提高器件結構的電學性能。

                    具體實施方式

                    爲詳細說明本發明的技術內容、所實現目的及效果,以下結合實施方式予以說明。

                    本發明最關鍵的構思在于:抽吹氣裝置的抽氣和吹氣動作能夠讓孔槽內壁表面的氣流往複運動,從而消除局部區域金屬化用漿料過度飽和的情況。

                    一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,包括如下步驟,

                    S1、利用噴頭向孔槽內壁噴灑金屬化用漿料;

                    S2、利用抽吹氣裝置對經過步驟S1的孔槽進行抽氣和吹氣。

                    從上述描述可知,本發明的有益效果在于:抽吹氣裝置的抽氣和吹氣動作能夠讓孔槽內壁表面的氣流往複運動,從而消除局部區域金屬化用漿料過度飽和的情況,使孔槽內壁金屬化漿料流平,達到均勻塗覆的目的,進而提高器件結構的電學性能。

                    進一步的,所述噴頭爲霧化噴頭。

                    由上述描述可知,霧化噴頭能夠實現良好的霧化效果,使金屬化用漿料能夠更均勻地噴灑在孔槽內壁上。

                    進一步的,所述噴頭呈管狀,所述噴頭的周壁上設有多個霧化孔,所述霧化孔的直徑爲100-200um,所述噴頭的直徑爲0.8-3mm。

                    由上述描述可知,噴頭結構簡單、加工容易、制造成本低。

                    進一步的,所述抽吹氣裝置包括真空泵。

                    由上述描述可知,真空泵能夠實現快速抽吹氣循環,讓孔槽內壁上的金屬化用漿料可以更均勻地塗覆。

                    進一步的,步驟S1之前還包括步驟S0、將孔槽的深度方向調整爲與器件結構所受重力方向一致。

                    由上述描述可知,在重力的作用下,金屬化用漿料能夠更均勻地塗覆在孔槽內壁上。

                    進一步的,步驟S2之後還包括步驟S3,對經過步驟S2的孔槽內壁進行烘幹。

                    進一步的,步驟S3之後還包括步驟S4,檢測孔槽內金屬層的厚度,若所述金屬層厚度小于預設厚度,則重複步驟S1至S4。

                    由上述描述可知,孔槽內壁上金屬層的厚度管控容易。

                    實施例一

                    本發明的實施例一爲:一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,特別適用于含有內壁結構(狹縫、盲孔、小孔、階梯孔等)的陶瓷器件,包括如下步驟,S1、利用噴頭向孔槽內壁噴灑金屬化用漿料;S2、利用抽吹氣裝置對經過步驟S1的孔槽進行抽氣和吹氣。其中,所述噴頭爲霧化噴頭。

                    容易理解的,步驟S2中,抽吹氣裝置的抽氣動作和吸氣動作既可以是單次的,也可以是多次的,廠商可以根據實際需要設置。進一步的,抽吹氣裝置的工作可視爲一循環動作,單個循環節內抽氣次數和吹氣次數既可以相同也可以不相同。

                    本實施例中,所述噴頭呈管狀,所述噴頭的周壁上設有多個霧化孔,所述霧化孔的直徑爲100-200um,所述噴頭的直徑爲0.8-3mm。步驟S1中,噴頭與具有穩定壓力控制的壓力裝置相連,特別定制的噴頭的端部具有類似于花灑的結構(即多個霧化孔),可將金屬漿料均勻打散噴出。

                    爲讓抽吹氣裝置能夠實現快速地吹氣與抽氣,所述抽吹氣裝置包括真空泵。容易理解的,所述抽吹氣裝置還包括間歇控制的空氣閥。

                    可選的,步驟S1之前還包括步驟S0、將孔槽的深度方向調整爲與器件結構所受重力方向一致。重力作用與抽吹氣裝置的抽/吹氣動作的配合能夠進一步提高金屬化用漿料塗覆的均勻性。

                    進一步的,步驟S2之後還包括步驟S3,(利用熱風裝置)對經過步驟S2的孔槽內壁進行烘幹,從而在孔槽內壁形成金屬層。

                    實施例二

                    本發明的實施例二爲:一種器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,特別適用于含有內壁結構(狹縫、盲孔、小孔、階梯孔等)的陶瓷器件,包括如下步驟,S1、利用噴頭向孔槽內壁噴灑金屬化用漿料;S2、利用抽吹氣裝置對經過步驟S1的孔槽進行抽氣和吹氣。其中,所述噴頭爲霧化噴頭。

                    容易理解的,步驟S2中,抽吹氣裝置的抽氣動作和吸氣動作既可以是單次的,也可以是多次的,廠商可以根據實際需要設置。進一步的,抽吹氣裝置的工作可視爲一循環動作,單個循環節內抽氣次數和吹氣次數既可以相同也可以不相同。

                    本實施例中,所述噴頭呈管狀,所述噴頭的周壁上設有多個霧化孔,所述霧化孔的直徑爲100-200um,所述噴頭的直徑爲0.8-3mm。步驟S1中,噴頭與具有穩定壓力控制的壓力裝置相連,特別定制的噴頭的端部具有類似于花灑的結構(即多個霧化孔),可將金屬漿料均勻打散噴出。

                    爲讓抽吹氣裝置能夠實現快速地吹氣與抽氣,所述抽吹氣裝置包括真空泵。容易理解的,所述抽吹氣裝置還包括間歇控制的空氣閥。

                    可選的,步驟S1之前還包括步驟S0、將孔槽的深度方向調整爲與器件結構所受重力方向一致。重力作用與抽吹氣裝置的抽/吹氣動作的配合能夠進一步提高金屬化用漿料塗覆的均勻性。

                    進一步的,步驟S2之後還包括步驟S3,(利用熱風裝置)對經過步驟S2的孔槽內壁進行烘幹,從而在孔槽內壁上形成金屬層。步驟S3之後還包括步驟S4,檢測孔槽內金屬層的厚度,若所述金屬層厚度小于預設厚度,則重複步驟S1至S4;優選所述預設厚度爲一範圍值,若檢測到的所述金屬層的厚度位于預設範圍值內,則孔槽內壁金屬化完成。換言之,孔槽內壁上的金屬層可以一層一層地疊加,如此,金屬層的厚度及均勻度更容易得到保證,進而提高器件的電性能。

                    綜上所述,本發明提供的器件結構的孔槽內壁金屬化工藝,利用重力作用配合抽吹氣裝置的抽/氣動作能夠讓孔槽內壁表面的氣流往複運動,從而消除局部區域金屬化用漿料過度飽和的情況,使孔槽內壁金屬化漿料流平,達到均勻塗覆的目的,進而提高器件結構的電學性能;孔槽內壁金屬層可多次塗覆成型,利于保證金屬層的尺寸精度,進一步提高金屬化用漿料塗覆的均勻性。

                    以上所述僅爲本發明的實施例,並非因此限制本發明的專利範圍,凡是利用本發明說明書內容所作的等同變換,或直接或間接運用在相關的技術領域,均同理包括在本發明的專利保護範圍內。

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