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    勻膠機吸盤的制作方法

    文檔序號:18709785發布日期:2019-09-18 00:33
    勻膠機吸盤的制作方法

    本發明屬于旋轉塗覆技術領域,具體是一種勻膠機吸盤。



    背景技術:

    在對較薄的基片進行表面處理時,爲了將整個基片的表面進行全方位快速塗覆,常需要將基片置于旋轉裝置上,基片在跟隨旋轉的過程中,完成表面的處理。如對基片進行塗膠時,需要將基片固定在旋轉塗膠機上,在旋轉的同時完成基片表面的塗膠。

    然而,現有的旋轉塗膠機所處理的基片尺寸一般較小,當旋塗並處理尺寸更大的基片時,基片不易形成有效固定,基片發生偏移,使基片與旋轉塗膠機器的轉軸不同心,塗膠不均勻且效果差;有的基片甚至會在旋轉的過程中向外飛出,導致基片破裂,增加生産成本。



    技術實現要素:

    本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。爲此,本發明提出一種勻膠機吸盤,所述勻膠機吸盤穩定地吸附和支撐基片,解決了大尺寸基片在處理過程中容易移位的問題。

    根據本發明實施例的一種勻膠機吸盤,所述勻膠機吸盤用來處理基片,包括:吸納部,所述吸納部用于吸附所述基片,所述吸納部上設有多個相連通的吸附氣道,所述吸附氣道包括多個第一氣道和多個第二氣道,多個所述第一氣道沿所述吸納部的徑向間隔設置,多個所述第二氣道分別連通多個所述第一氣道,所述第二氣道連接有抽氣口;支撐連接部,所述吸納部設于所述支撐連接部上,所述支撐連接部用于支撐所述基片。

    根據本發明實施例的勻膠機吸盤,通過設置支撐連接部,可有力的支撐基片,防止基片局部塌陷,通過在支撐連接部上設置吸納部,將基片穩定地吸附在吸納部上,基片位置不容易發生偏移。設在吸納部上的第一氣道和第二氣道,第一氣道沿著徑向間隔設置,使基片在徑向的不同位置處均可被第一氣道吸附,能適應吸附不同尺寸的基片,第二氣道連通多個第一氣道和抽氣口,當從抽氣口中抽氣時,第二氣道和第一氣道內均形成負壓,將基片牢牢地吸附在吸納部上。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,多個所述第一氣道呈環形,環形的多個所述第一氣道彼此相套設置,多個所述第二氣道沿所述吸納部的徑向延伸,至少兩個所述第二氣道連通所有的所述第一氣道。

    根據本發明進一步的實施例,所述抽氣口設在所述吸納部的中心處,環形的所述第一氣道圍繞所述抽氣口同心設置,多個所述第二氣道的外端連通最外圈的所述第一氣道,多個所述第二氣道的內端連通所述抽氣口。

    可選的,所述第一氣道的寬度爲0.5~1.5mm,相鄰兩個所述第一氣道之間的間距爲2~10mm,所述第二氣道的寬度爲1.5~3mm。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,所述吸納部在所述支撐連接部上的投影面積小于所述支撐連接部的面積。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,所述第一氣道和所述第二氣道的上表面與所述支撐連接部的上表面平齊。

    有利的,所述支撐連接部包括階梯部,所述階梯部包括第一台階面和第二台階面,所述第一氣道和所述第二氣道與所述第一台階面的上表面平齊,所述第二台階面低于所述第一台階面。

    根據本發明進一步的實施例,所述基片在所述支撐連接部上的投影落在所述第一台階面外且落在所述第二台階面內。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,所述支撐連接部包括轉動配合部,所述轉動配合部的內部形成安裝腔,所述安裝腔連通所述抽氣口。

    根據本發明進一步的實施例,所述轉動配合部的下端形成周向定位槽,所述勻膠機吸盤還包括驅動裝置,所述驅動裝置的驅動部配合在所述安裝腔內,且所述驅動部限位在所述周向定位槽中,所述驅動裝置帶動所述吸納部和所述支撐連接部旋轉運動。

    根據本發明進一步的實施例,所述勻膠機吸盤還包括抽氣泵,所述抽氣泵的抽氣管伸入所述安裝腔並連接所述抽氣口。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,所述吸納部和所述支撐連接部的表面塗覆一層防腐材料層,所述防腐材料層爲聚四氟乙烯層、酚醛樹脂層、環氧樹脂層或過氯乙烯層的一種。

    根據本發明一個實施例的勻膠機吸盤,所述勻膠機吸盤還包括殼體,所述殼體內形成塗膠腔,所述吸納部和所述支撐連接部可轉動地設在所述塗膠腔內。

    本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本發明的實踐了解到。

    附圖說明

    本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解,其中:

    圖1爲本發明一個實施例的勻膠機吸盤的縱向剖視圖。

    圖2爲本發明一個實施例的吸納部和支撐連接部的俯視圖。

    圖3爲本發明一個實施例的支撐連接部的立體圖。

    圖4爲圖2的側視圖。

    圖5爲圖4的縱向剖視圖。

    附圖標記:

    勻膠機吸盤100;

    吸納部1;

    吸附氣道11;第一氣道111;第二氣道112;

    抽氣口12;

    支撐連接部2;

    階梯部21;第一台階面211;第二台階面212;

    轉動配合部22;安裝腔221;周向定位槽222;

    凹槽23;

    驅動裝置3;驅動部31;定位銷32;

    殼體4;塗膠腔41;

    基片200。

    具體實施方式

    下面詳細描述本發明的實施例,所述實施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的,僅用于解釋本發明,而不能理解爲對本發明的限制。

    在本發明的描述中,需要理解的是,術語“中心”、“縱向”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“後”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關系爲基于附圖所示的方位或位置關系,僅是爲了便于描述本發明和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解爲對本發明的限制。

    下面參考附圖描述本發明實施例的勻膠機吸盤100。

    根據本發明實施例的一種勻膠機吸盤100,如圖1所示,勻膠機吸盤100用來處理基片200,基片200可以爲半導體基片,或者厚度小于0.5mm的其他類型的基片,如金屬薄板。本發明的勻膠機吸盤100特別適用于處理6英寸直徑以上的基片200。

    如圖2所示,本發明的勻膠機吸盤100包括:吸納部1和支撐連接部2。

    其中,吸納部1用于吸附基片200,支撐連接部2用于支撐基片200,吸納部1設于支撐連接部2上。

    具體的,如圖2所示,吸納部1上設有多個相連通的吸附氣道11,吸附氣道11包括多個第一氣道111和多個第二氣道112,多個第一氣道111沿吸納部1的徑向間隔設置,多個第二氣道112分別連通多個第一氣道111,第二氣道112連接有抽氣口12。這裏,第一氣道111沿著徑向間隔開設置多個,可對應基片200的徑向的不同位置。第二氣道112連通抽氣口12可將多個第一氣道111內的空氣抽出,使第一氣道111中形成負壓,得以吸附其上部的基片200的對應部位。在本發明的描述中,除非另有說明,“多個”的含義是兩個或兩個以上。

    由上述結構可知,本發明實施例的勻膠機吸盤100,通過設置支撐連接部2,可有力的支撐基片200,防止基片200局部塌陷,使基片200在處理的過程中保持自身的強度和形狀,使基片200的表面保持平整。

    通過在支撐連接部2上設置吸納部1,將基片200穩定地吸附在吸納部1上,基片200位置不容易發生偏移,基片200穩定地容置在勻膠機吸盤100的特定位置,可以理解的是,當基片200在高速旋轉過程中,不容易被甩下,基片200的中心不會偏離旋轉中心,處理基片200時勻膠機吸盤100工作穩定,處理效率高。

    其中,在勻膠機吸盤100吸附基片200的過程中,設在吸納部1上的第一氣道111和第二氣道112,其中,第一氣道111沿著吸納部1的徑向間隔設置,使基片200在放置在吸納部1和支撐連接部2上後,基片200的徑向的不同位置處均可被第一氣道111吸附,因此,本發明的勻膠機吸盤100能適應不同尺寸的基片200,尤其是對于直徑大于4英寸的6英寸基片200,本發明的勻膠機吸盤100仍能保持較好的吸附力。其中,第二氣道112連通抽氣口12和多個第一氣道111,當通過抽氣口12抽氣時,第二氣道112將其自身和與其連接的多個第一氣道111內的氣體經由抽氣口12排出,從而使第二氣道112和第一氣道111內均形成負壓,保證基片200的下表面牢牢地吸附在第一氣道111、第二氣道112上,因此基片200穩定的保持在吸納部1上。

    可以理解的是,相比于普通的真空抽氣吸盤,本發明中特有的氣道和布置形式,使得抽氣時更加快速、集中,僅第二氣道112與抽氣口12連通,因此當從抽氣口12向外抽氣時,第二氣道112中的氣體最先被大量抽出,同時與第二氣道112相通的各個第一氣道111內的氣體快速地排向第二氣道112中,第一氣道111之間僅通過第二氣道112連通,此過程中不容易發生漏氣跑氣現象,並使第一氣道111和第二氣道112中持續保持負壓狀態,與基片200的下表面形成穩定的吸附,吸附力強。

    此外,由于無需將第一氣道111的底部連通抽氣腔,而是通過第二氣道112連通抽氣口12、第二氣道112再連通第一氣道111的布設形式,因此第一氣道111的厚度可設計的較小,其占用的布置空間較小,使得本發明吸附氣道11在吸納部1上的布設形式多樣化,節省抽吸時設置配合結構所占用的空間,第一氣道111自身的內部空間較小,內部的氣體可快速被抽出而形成負壓,第一氣道111對基片200的吸附穩定。

    在本發明的描述中,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征,用于區別描述特征,無順序之分,無輕重之分。

    在本發明的一些實施例中,如圖2所示,多個第一氣道111呈環形,環形的多個第一氣道111彼此相套設置。環形布設的第一氣道111可對應基片200的底部形成足夠多的吸附面積,且對基片200的周向各處均能形成較爲統一的吸附力。

    多個第二氣道112沿吸納部1的徑向延伸,至少兩個第二氣道112連通所有的第一氣道111。徑向延伸的第二氣道112與沿著徑向間隔布置的多個第一氣道111之間形成交叉,使間隔布置的多個第一氣道111均通過第二氣道112連通抽氣口12,進而抽氣口12中抽氣時第一氣道111內部可形成負壓。其中,至少兩個第二氣道112連通所有的第一氣道111後,可保證所有的第一氣道111內均能被抽成負壓狀態。

    可選的,第二氣道112爲直線形氣道,且第二氣道112的寬度大于第一氣道111的寬度。直線形氣道方便第二氣道112中的氣體快速從抽氣口12排出。第二氣道112的寬度設計的更大時,方便第二氣道112爲第一氣道111提供足夠大的吸氣過渡空間,也有利于第二氣道112與第一氣道111交叉連接,可以理解的是,若第二氣道112的寬度過小,則與第一氣道111連接時不容易進行過渡,加工後容易出現交叉處過窄的現象。

    有利的,如圖2和圖5所示,抽氣口12設在吸納部1的中心處,環形的第一氣道111圍繞抽氣口12同心設置,多個第二氣道112的外端連通最外圈的第一氣道111,多個第二氣道112的內端連通抽氣口12。由此,本發明僅需要設置一個抽氣口12,便可將所有的第二氣道112和與之連通的第一氣道111中的氣體向外排出,設置結構簡單,占用空間少,抽氣速度快,各吸附氣道11與基片200之間的吸附緊密。

    可選的,第二氣道112呈放射狀布設在抽氣口12的周圍,相鄰的第二氣道112在吸納部1表面圍繞抽氣口12的周向等角度布設。由此,第二氣道112可均勻地將第一氣道111各處的氣體快速抽出,使吸納部1各處形成的吸附力較爲均勻。

    有利的,第二氣道112在遠離抽氣口12的方向上,其寬度逐漸增大。當第一氣道111的寬度和深度一致時,位于吸納部1邊緣的第一氣道111的總存氣空間較大,因此當第二氣道112在邊緣的吸氣空間更大時,有助于邊緣的第一氣道111內的氣體也快速抽出。

    有利的,第一氣道111在遠離吸納部1中心的位置,其寬度逐漸變小,各個同心的第一氣道111的總抽氣體積相同,第二氣道112的寬度一致。可以理解的是,由于第一氣道111沿徑向間隔設置,遠離抽氣口12的第一氣道111的寬度較小時,可保證所有的第一氣道111的抽吸力度相同。

    可選的,第一氣道111的寬度爲0.5~1.5mm,相鄰兩個第一氣道111之間的間距爲2~10mm,第二氣道112的寬度爲1.5~3mm。采用上述設計參數,保證第一氣道111布置的疏密有致,第一氣道111各處均對基片200産生穩定的吸力,且防止第一氣道111布置的過密而對基片200的吸附力太大使基片200變形,或使基片200難以取下。防止第一氣道111布置的過疏而對基片200的吸附力太小使基片200容易脫出。

    可選的,第一氣道111和第二氣道112的表面設計有一定的粗糙度,表面粗糙度在Ra0.3~0.35之間。以實現基片200與吸附氣道11的緊密貼合,有效防止吸附基片200時漏氣現象發生。

    在本發明的一些實施例中,如圖5所示,吸納部1在支撐連接部2上的投影面積小于支撐連接部2的面積。也就是說,吸納部1設在支撐連接部2內。

    可選的,如圖5所示,支撐連接部2的上表面形成有凹槽23,凹槽23的深度爲0.5~1.5mm,第一氣道111和第二氣道112均布設在凹槽23內,第一氣道111和第二氣道112形成爲氣槽,氣槽壁的高度與凹槽23的深度一致。由此,第一氣道111和第二氣道112的上表面與支撐連接部2的上表面平齊。

    在一些示例中,如圖4和圖5所示,支撐連接部2包括階梯部21,階梯部21包括第一台階面211和第二台階面212,第一氣道111和第二氣道112與第一台階面211的上表面平齊,第二台階面212低于第一台階面211。這裏,第一台階面211與吸附氣道11的上表面平齊,基片200同時與第一台階面211的上表面和吸附氣道11接觸,第一台階面211爲基片200提供必要的支撐;而第二台階面212則不與基片200接觸,從而第一台階面211和第二台階面212之間形成了間隔,當基片200放置在第一台階面211上後,由吸附氣道11吸附,並由第一台階面211支撐。

    有利的,重新參照圖1所示,基片200在支撐連接部2上的投影落在第一台階面211外且落在第二台階面212內。此時,當需要取下基片200時,由于第一台階面211上的基片200和第二台階面212之間形成間隙,夾取工具或人手容易伸入並將基片200取下。另外,基片200在放置時,第二台階面212可形成一定的參考,有利于基片200放置時與吸納部1同心。此外,本發明中設計第二台階面212還可以保護基片200,基片200的邊緣不伸出第二台階面212外,防止基片200在處理過程中(如旋轉塗膠)邊緣受到碰撞。

    在本發明的一些實施例中,如圖1、圖3所示,支撐連接部2包括轉動配合部22,轉動配合部22的內部形成安裝腔221,安裝腔221連通抽氣口12,如圖1所示,勻膠機吸盤100還包括驅動裝置3,驅動裝置3的驅動部31配合在安裝腔221內,驅動裝置3帶動吸納部1和支撐連接部2旋轉運動。

    驅動裝置3可以爲電機,電機的電機軸伸入安裝腔221中,並與轉動配合部22連接,電機軸旋轉時,帶動支撐連接部2和吸納部1轉動。在一些具體的示例中,電機軸與安裝腔221形成爲間隙配合,更具體的,采用H8/g8配合。

    驅動裝置3可以爲旋轉氣動馬達,旋轉氣動馬達的輸出端與轉動配合部22相連接,形成爲連續旋轉運動。

    當然,驅動裝置3也可以選擇其他的動力裝置,只要能實現支撐連接部2的連續轉動則可。

    可選的,如圖3所示,轉動配合部22的下端形成周向定位槽222,驅動部31限位在周向定位槽222中。在具體的示例中,如圖1中所示,驅動部31爲電機軸,電機軸通過定位銷32限位在周向定位槽222中。確保電機軸可以帶動吸盤100轉動且不發生空轉。

    有利的,如圖3所示,周向定位槽222形成爲U形槽,周向定位槽222的下部開口,定位銷32從周向定位槽222的下部置入,並與周向定位槽222的上部間隙配合,更具體的,定位銷32與周向定位槽222形成爲H6/g5間隙配合,進而保證驅動裝置3帶動支撐連接部2和吸納部1轉動時,連接處不晃動,使旋轉穩定。

    可選的,周向定位槽222的下部開口形成爲擴口,有利于驅動部31的安裝和定位。

    在本發明的一些實施例中,勻膠機吸盤100還包括抽氣泵(圖未示出),抽氣泵的抽氣管伸入安裝腔221並連接抽氣口12。當抽氣泵抽氣後,將與抽氣口12連通的第二氣道112內的氣體抽出,並帶動第一氣道111中的氣體抽出,使第一氣道111和第二氣道112內均形成爲負壓。

    可選的,抽氣泵設置在支撐連接部2上,當支撐連接部2旋轉時,抽氣泵跟著旋轉,防止抽氣管在支撐連接部2旋轉時形成纏繞。

    可選的,抽氣泵設置在階梯部1的底部,轉動配合部22上形成通孔,抽氣管從通孔中伸入到安裝腔221後,與抽氣口12連接。有利的,驅動部31的頂部低于通孔的水平標高,防止驅動部31觸碰到抽氣管。

    在一些示例中,安裝腔221中形成有隔板,隔板的下部空間用來裝入驅動部31,隔板的上部空間用來布設抽氣管。

    在一些示例中,重新參照圖1所示,勻膠機吸盤100還包括殼體4,殼體4內形成塗膠腔41,吸納部1和支撐連接部2可轉動地設在塗膠腔41內。殼體4限定了基片200在旋轉塗膠時的具體區域,防止膠體四處散落汙染環境。

    在本發明的一些實施例中,吸納部1和支撐連接部2的表面塗覆一層防腐材料層,防腐材料層爲聚四氟乙烯層、酚醛樹脂層、環氧樹脂層或過氯乙烯層的一種。提高勻膠機吸盤100的耐腐蝕性,防止塗膠時對表面的汙染,延長勻膠機吸盤100的使用壽命。在本發明中,在勻膠機吸盤100的表面塗覆防腐材料層時,可使用氣槍噴塗。

    相應的,在本發明中,殼體4的表面也塗覆一層防腐材料層。

    在本發明的一些示例中,吸納部1和支撐連接部2采用鋁合金制作,鋁合金可以減輕勻膠機吸盤100的自身重量,並具有足夠的強度,且耐腐蝕。

    下面結合說明書附圖描述本發明的一個具體實施例中勻膠機吸盤100的具體結構。

    如圖1和圖2所示,一種勻膠機吸盤100,包括吸納部1、支撐連接部2、驅動裝置3、殼體4、抽氣泵(圖未示出)。

    其中,如圖1所示,殼體4內形成塗膠腔41,吸納部1和支撐連接部2可轉動地設在塗膠腔41內。殼體4的底部設有驅動安裝孔,驅動安裝孔的周圍設有導柱,驅動裝置3采用電機,電機的電機軸從驅動安裝孔和導柱中穿入塗膠腔41中,電機軸與支撐連接部2連接。

    支撐連接部2、吸納部1、基片200的橫截面均呈圓形,支撐連接部2、吸納部1、基片200共心,同時電機軸對應連接在此中心上。如圖1和圖5所示,支撐連接部2包括階梯部21、轉動配合部22、凹槽23,階梯部21設在轉動配合部22的上方,兩者一體成型,階梯部21的中部形成有上下貫通的抽氣口12。轉動配合部22內形成安裝腔221,安裝腔221上形成有周向配合槽222,安裝腔221中配合有電機軸,定位銷32限位在周向配合槽222中,使得電機軸形成周向的限位。抽氣泵設在支撐連接部2上,抽氣管穿入安裝腔221中,並與抽氣口12接合。如圖4所示,階梯部21包括第一台階面211和第二台階面212,第一氣道111和第二氣道112與第一台階面211的上表面平齊,第二台階面212低于第一台階面211。如圖1所示,基片200在支撐連接部2上的投影落在第一台階面211外且落在第二台階面212內。階梯部21的上表面形成有凹槽23,凹槽23內形成有吸納部1。

    如圖2所示,吸納部1包括多個吸附氣道11和前述的抽氣口12,吸附氣道11包括多個圓環形的第一氣道111和多個直線形的第二氣道112,圓形的第一氣道111沿吸納部1的徑向相套並間隔設置,相鄰的第一氣道111的間距爲8mm,每個第一氣道111的寬度爲1mm,深度相同。第二氣道112的寬度爲2mm,第二氣道112呈放射狀設置在抽氣口12的周圍,第二氣道112將吸納部1等角分隔,第二氣道112可連通所有環形第一氣道111,第二氣道112的另一端相聯通並連接至抽氣口12上。吸納部1、支撐連接部2、殼體4的表面均塗覆有一層聚四氟乙烯層。

    旋轉塗膠過程中,基片200布設在支撐連接部2上,並由吸納部1吸緊,基片200不易歪斜,對中效果好,在驅動裝置3的帶動下,均勻地旋轉塗膠。

    在本發明的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規定和限定,術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言,可以具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

    圖2中顯示了四個第二氣道112用于示例說明的目的,但是普通技術人員在閱讀了上面的技術方案之後、顯然可以理解將該方案應用到其他數量的第二氣道112的技術方案中,這也落入本發明的保護範圍之內。

    根據本發明實施例的勻膠機吸盤100的其他構成例如旋轉塗膠的過程對于本領域普通技術人員而言都是已知的,這裏不再詳細描述。

    在本說明書的描述中,參考術語“實施例”、“示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中,對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且,描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

    盡管已經示出和描述了本發明的實施例,本領域的普通技術人員可以理解:在不脫離本發明的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本發明的範圍由權利要求及其等同物限定。

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