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          一種硅片加工用勻膠機的制作方法

          文檔序號:10288533
          一種硅片加工用勻膠機的制作方法
          【技術領域】
          [0001]本實用新型涉及半導體材料加工技術領域,尤其是涉及一種硅片加工用勻膠機。
          【背景技術】
          [0002]硅片加工中,需要將光刻膠塗布在硅片上,以滿足硅片曝光的需要,該光刻膠爲從廠家購買的成品負性光刻膠加二甲苯稀釋劑進行調稀而成。現有技術中,稀釋劑添加至光刻膠內、並攪拌均勻的操作由人工進行,但該操作方式具有工人勞動量大、混合時間長、混合均勻程度差的缺點。

          【發明內容】

          [0003]本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺點,提供一種硅片加工用勻膠機,由該機將添加至光刻膠瓶內的稀釋劑混合勻勻,采用的技術方案是:一種硅片加工用勻膠機,包括機架,所述機架上設有勻膠部分,其特征在于:所述勻膠部分包括勻膠輥,所述勻膠輥包括主動勻膠輥和從動勻膠輥,所述勻膠機還包括動力部分,所述動力部分包括電機及在所述電機帶動下轉動的傳動部件,所述主動勻膠輥與所述傳動部件連接。
          [0004]本實用新型的技術特征還有:所述傳動部件包括安裝在轉軸上的主動帶輪、安裝在所述主動勻膠輥上的從動帶輪,所述主動帶輪與所述從動帶輪之間由傳動帶連接。
          [0005]本實用新型的技術特征還有:所述電機固定在所述機架上,所述電機與減速器連接,所述減速器的輸出軸即爲所述轉軸。
          [0006]本實用新型的技術特征還有:所述從動勻膠輥爲兩根,分別位于所述主動勻膠輥的兩側,所述主動勻膠輥和從動勻膠輥的軸線相互平行。
          [0007]本實用新型的有益效果在于:本勻膠機設有主動勻膠輥和從動勻膠輥,主動勻膠輥通過摩擦力帶動膠瓶轉動,多次旋轉後稀釋劑與光刻膠混合均勻;本勻膠機結構簡單、使用便利、成本低廉,大大減少了人工勞動量,適用于添加劑與膠液之間的均勻混合之用途。
          【附圖說明】
          [0008]附圖1是本實用新型主視圖,附圖2爲附圖1的俯視圖,I是機架,2是主動勻膠輥,3是從動勻膠輥,4是電機,5是減速器,6是主動帶輪,7是從動帶輪,8是傳動帶,9是轉軸。
          【具體實施方式】
          [0009]下面結合附圖,對本實用新型的【具體實施方式】進行說明。本實用新型公開了一種硅片加工用勻膠機,該勻膠機包括機架1、勻膠部分和動力部分,勻膠部分設置在機架I上,勻膠部分包括勻膠輥,勻膠輥包括主動勻膠輥2和從動勻膠輥3,主動勻膠輥2在傳動部件帶動下勻速旋轉,從動勻膠棍3不與傳動部件連接,不做主動運動。傳動部件包括安裝在轉軸9上的主動帶輪6、安裝在主動勻膠輥2上的從動帶輪7,主動帶輪6與從動帶輪7之間由傳動帶8連接。
          [0010]動力部分包括電機4及在電機4帶動下轉動的傳動部件,主動勻膠輥2與傳動部件連接。電機4固定在機架I上,電機4與減速器5連接,減速器5的輸出軸即爲轉軸9。
          [0011]本實施例中從動勻膠輥3爲兩根,分別位于主動勻膠輥2的兩側,主動勻膠輥2和從動勻膠輥3的軸線相互平行。
          [0012]使用時,將二甲苯稀釋劑添加至盛放光刻膠的膠瓶內,然後將膠瓶置于主動勻膠輥2與從動勻膠輥3之間;打開本勻膠機的控制按鈕,主動勻膠輥轉動,借助主動勻膠輥與膠瓶之間的摩擦力,膠瓶轉動,完成稀釋劑與光刻膠之間均勻混合;混合好後,取下膠瓶即可。
          [0013]當然,上述說明並非對本實用新型的限制,本實用新型也不僅限于上述舉例,本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質範圍內所做出的變化、改型、添加或替換,也屬于本實用新型的保護範圍。
          【主權項】
          1.一種硅片加工用勻膠機,包括機架,所述機架上設有勻膠部分,其特征在于:所述勻膠部分包括勻膠輥,所述勻膠輥包括主動勻膠輥和從動勻膠輥,所述勻膠機還包括動力部分,所述動力部分包括電機及在所述電機帶動下轉動的傳動部件,所述主動勻膠輥與所述傳動部件連接。2.按照權利要求1所述的勻膠機,其特征在于:所述傳動部件包括安裝在轉軸上的主動帶輪、安裝在所述主動勻膠輥上的從動帶輪,所述主動帶輪與所述從動帶輪之間由傳動帶連接。3.按照權利要求2所述的勻膠機,其特征在于:所述電機固定在所述機架上,所述電機與減速器連接,所述減速器的輸出軸即爲所述轉軸。4.按照權利要求2所述的勻膠機,其特征在于:所述從動勻膠輥爲兩根,分別位于所述主動勻膠輥的兩側,所述主動勻膠輥和從動勻膠輥的軸線相互平行。
          【專利摘要】一種硅片加工用勻膠機,包括機架,機架上設有勻膠部分,勻膠部分包括勻膠輥,勻膠輥包括主動勻膠輥和從動勻膠輥,勻膠機還包括動力部分,動力部分包括電機及在電機帶動下轉動的傳動部件,主動勻膠輥與所述傳動部件連接。本勻膠機具有主動勻膠輥和從動勻膠輥,通過與膠瓶之間的摩擦力,打動膠瓶勻速轉動,以完成稀釋劑與光刻膠之間的均勻混合;本勻膠機結構簡單、使用便利、成本低廉,大大減少了人工勞動量,適用于添加劑與膠液之間的勻?勻混合之用途。
          【IPC分類】B05C11/10
          【公開號】CN205199854
          【申請號】CN201520933669
          【發明人】張運, 孫者利
          【申請人】濟南卓微電子有限公司
          【公開日】2016年5月4日
          【申請日】2015年11月23日
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