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            微觀裝置的制造及其處理技術
            • 基于SPR轉換的雙響應金納米膜、其制備方法及應用與流程
              本發明涉及一種二維納米材料,特別涉及一種基于spr轉換的雙響應金納米膜及其制備方法和應用,屬于二維納米材料。納米材料由于其具有獨特的體積效應、表界面效應和量子尺寸效應等特性而引起了各科研人士的極大關注。二維貴金屬納米材料(如二維金納米粒子單層膜)因粒子間的集成效應而表現出特異的電學...
            • 一種複合SERS基底及其制備方法和應用與流程
              本發明涉及微納結構加工,具體涉及一種複合sers基底及其制備方法和應用。在農業生産中,爲提高農作物的産量,會大量的施用殺蟲、殺菌、殺滅有害動物(或雜草)的農藥。這些農藥流失到環境中,會造成嚴重的環境汙染,而且農作物自身的農藥殘留對消費者的健康存在潛在危害。目前常用的檢測食品中農藥殘...
            • 一種提高超疏水表面水下空氣層穩定性的方法與流程
              本發明涉及超疏水表面,具體而言,尤其涉及一種提高超疏水表面水下空氣層穩定性的方法。超疏水表面在水下船體防汙、減阻以及防冰等領域具有重要的應用,其中超疏水表面水下空氣層的穩定性是其功能發揮的最關鍵因素。超疏水表面在水下時,流體流動、靜壓力和浸泡時間等會加快空氣層的擴散甚至流失,因此超...
            • 一種MEMS層疊器件微波端口實現的工藝方法與流程
              本發明屬于微機電系統封裝,特別是一種mems層疊器件微波端口實現的工藝方法。在射頻微系統中,通過三維堆疊的方式集成了有源芯片、無源集成器件(ipd)、體聲波器件(fbar)以及微機電系統(mems)傳感器等多領域器件或芯片。其中測試端口的引出一般是利用抽頭的方式通過硅通孔(tsv)...
            • MEMS傳感器元件和對應的傳感器、芯片以及其制造方法與流程
              本發明涉及一種具有可偏移地布置的膜片的mems傳感器元件。本發明還涉及一種mems傳感器。本發明還涉及一種具有至少一個mems傳感器元件的芯片。本發明還涉及一種用于制造具有可偏移地布置的膜片的mems傳感器元件的方法。盡管本發明通常可以應用在具有帶可偏移地布置的膜片的傳感器元件的任意傳感器...
            • 一種電子皮膚及其制備方法與流程
              本發明涉及電子元器件,尤其涉及一種電子皮膚及其制備方法。電子皮膚本身爲超薄的可拉伸薄膜,因此在制備和使用過程中都附著于薄膜基底和人體皮膚上。然而在使用過程中,尤其在將電子皮膚層從薄膜基底轉移到人體皮膚的過程中,脫離基底的薄膜非常容易彎曲、褶皺,難以平整的鋪展在皮膚表面。發明內容鑒于...
            • 利用ALGe的共晶鍵合的制作方法
              相關申請的交叉引用本申請要求根據35usc119(e)在2017年4月4日提交的申請序列號62/481,634的權益,其內容以全文引用的方式並入本文。本發明涉及晶圓(wafer)鍵合,更具體地涉及用于密封mems器件的共晶鍵合。微機電系統(mems)(例如,運動傳感器和可移動鏡)被廣泛使用...
            • 微機電流體裝置模塊的制作方法
              本案是關于一種微機電模塊,尤指一種利用新穎封裝方式來提升微機電流體裝置效率的微機電流體裝置模塊。隨著科技的日新月異,傳統的流體輸送裝置已朝向裝置微小化、流量極大化的方向進行。在應用上也愈來愈多元化,舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱到近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影。而近年來微機...
            • 微流體致動器的制作方法
              本案關于一種致動器,尤指一種使用微機電半導體薄膜制作的微流體致動器。目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業,産品均朝精致化及微小化方向發展,其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等産品所包含的流體致動器爲其關鍵技術。隨著科技的日新月異,流體輸送結構的應用上亦愈來愈多元化,舉...
            • 一種抗幹擾MEMS器件的制備方法與流程
              本發明涉及微機械電子,具體是一種抗幹擾mems器件的制備方法。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微機電系統的縮寫,mems制造技術利用微納米加工技術,尤其是采用半導體晶圓制造的相關技術,制造出各種微納米級機械結構,結合專用控制集成電路(as...
            • 一種碳納米管平行陣列的制備方法與流程
              本申請涉及半導體,更具體地說,涉及一種碳納米管平行陣列的制備方法。碳納米管,又名巴基管,是一種具有特殊結構(徑向尺寸爲納米量級,軸向尺寸爲微米量級,管子兩端基本上都封口)的一維量子材料。傳統無序網狀的碳納米管薄膜無法利用碳納米管的一維各向異性,使得載流子在碳納米管薄膜中的輸運過程中...
            • 一種抗幹擾MEMS器件的制作方法
              本發明涉及微機械電子,具體是一種抗幹擾mems器件。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微機電系統的縮寫,mems制造技術利用微納米加工技術,尤其是采用半導體晶圓制造的相關技術,制造出各種微納米級機械結構,結合專用控制集成電路(asic),組...
            • MOEMS二分量加速度傳感器、測量系統及工作方法與流程
              本公開屬于傳感器領域,尤其涉及一種moems二分量加速度傳感器、測量系統及工作方法。本部分的陳述僅僅是提供了與本公開相關的信息,不必然構成在先技術。微光機電系統(moems)是微光學和微機電系統(mems)相融合的一種新技術系統。與傳統的光學系統相比,微光機電系統集成在微米級的系統...
            • 一種高度有序並且重複性好的呈軸對稱的周期性的納米孔洞結構的制備方法與流程
              本發明屬于微納結構制造的,具體涉及設計並制備一種高度有序並且重複性好的呈軸對稱的周期性的納米孔洞結構。技術背景微孔腔狀結構在納米反應器、納米載藥、生物、能源等領域都具有重要應用前景。能夠對空洞數目、大小、排列位置進行調控的制備技術具有重要的實際應用價值。目前微孔腔狀結構制備大多采用化學方法...
            • 一種仿生壁虎極端漸進式剛柔梯度微柱結構的制備方法及其應用與流程
              本發明屬于仿生材料,尤其涉及一種仿生壁虎極端漸進式剛柔梯度微柱結構的制備方法及其應用。本世紀初,關于壁虎粘附機理和仿壁虎粘附材料的開發,已然發展爲學術界多學科交叉的研究熱點。壁虎的粘附源于其腳掌上特殊多層級微納剛毛陣列結構,該結構能夠促進壁虎腳掌與自然界複雜表面形成很好的形狀融合,...
            • 一種高度有序傾斜納米柱的制備方法與流程
              本發明屬于周期納米材料制備,具體涉及一種高度有序傾斜納米柱制備新技術。技術背景高度有序傾斜納米柱陣列在生物、醫學、醫藥、納米光子學等領域均具有重要應用。開發出一種技術,可以適用于多種材料的納米棒狀結構陣列的制備,非常重要。現有制備傾斜納米柱的制備采用光刻或電子束刻蝕方法,或者化學腐蝕方法,...
            • 一種周期波浪狀納米孔結構陣列的制備方法與流程
              本發明屬于納米材料合成,具體涉及一種周期波浪狀納米結構陣列制備技術。技術背景納米孔狀結構在微流、載藥、納米光子學等方面具有重要作用。而非圓形納米孔狀陣列在定向輸運、偏振等領域具有很重要的應用前景。但是目前,帶有波浪狀納米孔結構的陣列制備方法並未見報道。發明內容爲了提供一種周期波浪狀納米孔結...
            • 一種高度有序並且呈軸對稱的納米周期性結構的制備方法與流程
              本發明屬于納米結構轉換和複合材料合成,具體涉及設計並制備一種高度有序並且呈軸對稱的納米周期性結構。技術背景表面等離子體調節控制化學反應在等離子體化學的研究有著廣泛的應用前景。表面等離子體的獨特的物理效應,這是這些物理效應是基于納米材料物理結構的改變。磁控濺射是改變已有結構的手段之一。通過調...
            • 一種抗幹擾耐過載MEMS加速度計的制備方法與流程
              本發明涉及微機電,具體是一種抗幹擾耐過載mems加速度計的制備方法。微機械加速度計是基于微電子機械系統加工技術制作而成的一種力學量傳感器,可以用于慣性力、傾斜角、振動及沖擊等慣性參數的測量。利用微機械加工工藝制作的電容式加速度計在測量精度、溫度特性、利用靜電力進行閉環測量和自檢及易...
            • 基片的刻蝕方法與流程
              本發明涉及半導體加工,更具體地,涉及一種基片的刻蝕方法。在硅材料的微機電系統(mems)器件制造工藝中,常需要制備硅斜台結構以作爲懸梁臂的支撐結構,進而制造各類mems傳感器。現有技術是利用濕法刻蝕方法在硅片上形成斜台結構。由于硅材料具有一定晶向,通過沿某些特定晶向進行濕法刻蝕可以...
            技術分類
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